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代加工多晶硅还原炉_dxb.120ask.com

代加工多晶硅还原炉

多晶硅还原炉简介:

公司专业生产加工多晶硅还原炉是用于生产多晶硅主流技术路线“改良西门子法――闭环式三氯氢硅氢还原法”中进行CVD反应生产高纯多晶硅的主体设备。

我们目前开发的多晶硅还原炉是钟罩式12对棒还原炉,主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成。

炉体16L且进行抛光处理(增强炉内热量漫反射,减少热辐射,节省能源),以减少设备材质对产品的污染。

炉体外夹套采用不锈钢材质SUS304,用来通冷却水或导热油,带走反应放出的热量。

底盘采用不锈钢材质SUS316L癫痫病发病症状有什么,底盘也有夹层,用来通入冷却水,以保护密封垫圈。电极由导电性能较好的优质紫铜材料制成,经过特殊设计、工艺处理,内部通过冷却水进行冷癫痫病人的寿命有多长呢却,电极与载体用石墨夹头进行连接。

混和气进气管分为9个喷口(其中8个喷口均匀的设置在底盘上),在还原炉底盘上分二个圆周均匀布置12对电极,最外一周布置8对电极,最内一周布置4对电极,该种设计使还原炉内部结构布局合理,单台炉每批次癫痫病怎样治疗更好产量较现有还原炉有大幅度的提升,多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。

本公司经营多晶硅还原炉,质量保证,欢迎咨询洽谈。在线QQ653625283。


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